产经新闻/ midwifery news
来源:中科富海
近日,中科富海旗下子公司中科富氦(中山)气体开发有限公司(以下简称“中科富氦”)气体纯化装置成功投产,产出纯度高达6n的超纯氪气、氙气产品。
氪气、氙气在空气中的含量极少,加之其分离提取工艺要求较高等原因,称为“黄金气体”。6n级超纯氪气、氙气在国内并不多见,其生产技术曾一度被国外企业垄断。中科富氦采用先进的精馏结合纯化工艺流程和设备配置;其主要通过进料排、精馏塔、纯化器三套主要设备协同工作,使原料得以高效提纯。此外,装置还配备了膜压机和真空泵等辅助设备,确保生产过程的稳定性和高效性。最终实现将氪氙原料气体从5n纯度精馏提纯至6n纯度甚至更高。
该套装置设计产能为氪气6000nm³/a和氙气600nm³/a,可充分满足台积电等高端客户需求。未来,中科富氦将持续深耕低温精馏和纯化工艺,瞄准7n纯度标准不断前进,持续提升产品品质和生产效率,以满足日益增长的半导体行业需求。
微信公众号
微信视频号